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Groupe d'Etude de la Matière Condensée (GEMaC), Université de Versailles Saint-Quentin-en-Yvelines - CNRS

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GEMAC > Moyens expérimentaux > Elaboration de matériaux

Ablation Laser

Le GEMAC dispose de 2 chambres UHV et de deux lasers impulsionnels nanoseconde, un laser excimère KrF (LAmbda Physik - 650mJ / 248 nm) et un laser solide Nd:YAG (Spectra Physics - 180mJ / 355 nm). Le vide ultime est 5x10-9 Torr.
Les températures de substrats peuvent atteindre 900°C sous vide ou pression totale ou partielle d’oxygène. Deux sources d’oxygénation supplémentaires sont disponibles, une source plasma et une vanne pulsée. Un carrousel de 8 cibles dans un des bâtis nous permet de réaliser des hétérostructures tout oxyde dans le cadre de l’ingénierie des oxydes fonctionnels. Les cibles sont fabriquées au GEMAC.
Les atouts de nos bâtis sont les nombreuses caractérisations qui les équipent :
Ellipsomètre spectroscopique (350-850nm/ SENTECH et 370-1600nm/ WOOLAM)
RHEED (STAIB Instruments, 15kV)
Camera IR (FLIR Systems)
Spectromètre d’émission (OCEAN OPTICS)
Analyseur de Gaz Résiduel

Contacts: Bruno Bérini / Elena Popova

Fabrication des cibles


La fabrication d’une large gamme d’oxydes ternaires se fait selon la procédure de préparation des matériaux céramiques : mélange/broyage, pressage et frittage à haute température. L’atelier est équipé de plusieurs balances de précision, d’un broyeur planétaire Retsch PM100, d’une presse uniaxiale de 25 tonnes, de 2 fours de frittage verticaux Pyrox allant jusqu’à 1600°C et d’un four horizontal permettant faire des recuits jusqu’à 1200°C.

Contacts: Elena Popova

Dernière mise à jour de cette page : 2 novembre 2017


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1/Réservation en ligne

AFM
Spectrophotomètre
Profilomètre
Diffractomètre Nonius
MEB-GEMaC

2/Réservation en ligne
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