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Groupe d'Etude de la Matière Condensée (GEMaC), Université de Versailles Saint-Quentin-en-Yvelines - CNRS

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GEMAC > Moyens expérimentaux > Elaboration de matériaux

Pulverisation cathodique Radio Fréquence

Le GEMaC posséde deux bâtis de pulvérisation cathodique :


Un bâti, permettant de faire de la pulvérisation réactive, est destiné à l’élaboration de structures ou de couches minces pour l’optique.

Contact : Xavier Quélin




Un bâti commercial leybold Z400 polyvalent réalise des contacts électriques, des couches minces ou granulaires et des hétérostructures, pour l’optique, la magnéto-optique, l’électronique….
Nous utilisons une grande variété de cibles permettant une grande diversité de dépôts de diélectriques ou de métaux.

Contact : Bruno Bérini

Dernière mise à jour de cette page : 29 novembre 2012


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