Ellipsométrie en température

L’ellipsométrie est une technique non-destructive adaptée à la caractérisation de surface, de couches minces. Elle permet notamment la mesure de l’épaisseur de couches minces, des constantes optiques des matériaux, de la rugosité d’une surface…

Le modèle UVISEL est un ellipsomètre spectroscopique à modulation de phase de marque Horiba -Jobin Yvon. Il couvre un domaine spectral allant de 270 nm à 2100 nm. Il a été modifié dans le but de permettre des mesures en fonction de la température sur une gamme 11K-450K par l’intermédiaire d’un doigt froid et d’un circuit fermé d’hélium. Le cryostat, grâce à la présence de fenêtres latérales, permet des mesures à deux angles distincts (75° et 65°).