Profilomètre

Profilomètre DEKTAK 8 (Bruker).
Année d’acquisition 2006.
Le profilomètre à contact DEKTAK 8 permet principalement d’effectuer des mesures 2D (épaisseur de films minces, hauteur de marche d’échantillons processés, profondeur de cratères SIMS etc…).
Il est également possible d’obtenir des cartographies 3D de la surface d’un échantillon pour en mesurer ou contrôler la rugosité.

Les points clefs :
3 gammes de mesure verticale (+ -) : 3,25 µm / 32 µm / 130 µm
résolution verticale : 0.1 nm sur la gamme + - 3,25 µm
longueur de scan : de 50 µm à 100 mm
stylets disponibles : 0,2 µm / 2,5 µm / 12,5 µm de rayon de courbure de la pointe
force d’appui : de 0.03 à 15 mg

Réservé à un usage interne au GEMaC.