Dépôts métalliques et d'oxydes

Le GEMaC possède deux bâtis d’évaporation par effet Joule et deux bâtis de pulvérisation cathodique.

Un bâti UHV (ultra vide) permet l'élaboration de couches d'or granulaires ou continue. Il est destiné à l’élaboration de structures ou de couches minces pour l’optique (effets d’exaltations de champ).

Un bâti commercial Edwards auto306 possède deux sources permettant le dépôt successif de deux métaux différents (nickel, or, aluminium, argent…). Il réalise des couches minces métalliques servant de contacts électriques ou de catalyseur.

Un bâti commercial leybold Z400 polyvalent réalise des contacts électriques, des couches minces ou granulaires et des hétérostructures, pour l’optique, la magnéto-optique, l’électronique….
Nous utilisons une grande variété de cibles permettant une grande diversité de dépôts de diélectriques ou de métaux.

Enfin, un bâti, permettant de faire de la pulvérisation réactive, est destiné à l’élaboration de structures ou de couches minces pour l’optique.