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Microscope électronique à balayage à émission de champ

Modèle : JEOL 7001F

Nanofils de ZnO
Billes d'or nanométriques
Détecteurs :
  • électrons secondaires : Everhart et Thornley
  • électrons rétrodiffusés : rétractable
  • cathodoluminescence : miroir parabolique rétractable
Spécifications :
  • source d’électrons à émission de champ : pointe Schottky
  • résolution ultime en électrons secondaires : 1,2 nm@ 30 kV et 3 nm@1 kV
  • résolution en conditions d'analyse : 3 nm@ 15 kV / 5 nA / WD 10 mm
  • tension d'accéleration : 500 V à 30 kV
  • courant de faisceau : 1 pA à 200 nA
  • gamme de grandissement : × 10 à × 1 000 000