Bâti à réacteur vertical
Principales caractéristiques du bâti :
Sources
- Eléments II : Zn, Mg
- Eléments VI : N2O, t-butanol, Se, Te, S
- Dopage : Al, Ga
Gaz vecteur : He, H2, Ar, N2
Pression : atmosphérique
Température : chauffage RF → 1000°C
Taille des substrats 1 à 2 cm2